Sensor ta 'temperatura u umdità għal Skema ta' Kontroll ta 'Umdità tat-Temperatura tal-Kamra Nadifa Semikondutturi
Uri tal-Prodott
It-temperaturaul-umdità ta 'spazju nadif hija ddeterminata prinċipalment skont ir-rekwiżiti tal-proċess, iżda taħt il-kondizzjoni li jintlaħqu r-rekwiżiti tal-proċess, is-sens ta' kumdità għandu jitqies.Bit-titjib tar-rekwiżiti tal-indafa tal-arja, kien hemm tendenza ta 'rekwiżiti aktar u aktar stretti għat-temperatura u l-umdità.
Peress li l-eżattezza tal-ipproċessar hija aktar u aktar multa, għalhekk il-firxa tal-varjazzjoni tat-temperatura hija inqas u inqas.Pereżempju, fil-proċess ta 'espożizzjoni litografika ta' produzzjoni ta 'ċirkwit integrat fuq skala kbira, id-differenza tal-koeffiċjent ta' espansjoni termali bejn il-ħġieġ u l-wejfer tas-silikon bħala materjal tal-maskra hija meħtieġa li tkun iżgħar u iżgħar.Dijametru 100 um wejfer tas-silikon, żieda fit-temperatura 1 grad, se tikkawża espansjoni lineari ta '0.24um, għalhekk għandu jkun hemm temperatura ta' ± 0.1 grad, fl-istess ħin il-valur tal-umdità huwa ġeneralment baxx, minħabba li n-nies għaraq, il-prodott ikollu tniġġis, speċjalment jibżgħu mill-workshop tas-semikondutturi tas-sodju, dan il-workshop m'għandux jaqbeż il-25 grad.
Umdità għolja tikkawża aktar problemi.Meta l-umdità relattiva taqbeż il-55%, in-nida se tifforma fuq il-ħajt tal-pajp tal-ilma li jkessaħ, li jikkawża diversi inċidenti jekk jiġri f'apparati jew ċirkwiti ta 'preċiżjoni.Meta l-umdità relattiva hija 50%, huwa faċli li sadid.Barra minn hekk, meta l-umdità tkun għolja wisq, it-trab imwaħħal mal-wiċċ taċ-ċippa tas-silikon jiġi adsorbit kimikament fuq il-wiċċ biex jirreżisti t-tneħħija.Aktar ma tkun għolja l-umdità relattiva, l-adeżjoni hija diffiċli biex titneħħa, iżda meta l-umdità relattiva tkun inqas minn 30%, il-partiċelli huma faċli biex jassorbu fuq il-wiċċ minħabba l-azzjoni tal-forza elettrostatika, u numru kbir ta 'apparati semikondutturi huma suxxettibbli għal ħsara.Il-firxa ta 'temperatura ottima għall-produzzjoni tal-wejfer hija 35-45%.
Għalhekk, il-kontroll tat-temperatura u l-umdità huwa partikolarment importanti, HENGKO jista 'jagħtik serje ta'trasmettitur tat-temperatura u l-umdità soluzzjonijiet ta 'pproċessar personalizzati!
Sensor ta 'temperatura u umdità għal Skema ta' Kontroll ta 'Umdità tat-Temperatura tal-Kamra Nadifa Semikondutturi
Ma tistax issib prodott li jissodisfa l-bżonnijiet tiegħek?Ikkuntattja lill-istaff tal-bejgħ tagħna għalServizzi ta 'personalizzazzjoni OEM/ODM! 
