Manifattur ta' Elementi ta' Filtru ta' Purità Għolja li Jipprovdi Kontroll Preċiż tal-Fluss għal Applikazzjonijiet ta' Fabs u Cleanroom
Manifattur ta' Elementi ta' Filtru ta' Purità Għolja li Jipprovdi Kontroll Preċiż tal-Fluss
għal Applikazzjonijiet ta' Fabs u Cleanroom
Deskrizzjoni
Il-Filtri HENGKO għall-Immuntar fuq il-Wiċċ huma ddisinjati biex jissodisfaw ir-rekwiżiti eżiġenti tas-sistemi integrati tal-gass użati f'għodod OEM tas-semikondutturi. Billi joffru filtrazzjoni ewlenija fl-industrija f'0.003 µm, dawn il-filtri jiżguraw prestazzjoni u affidabbiltà eċċezzjonali b'effiċjenza ta' interċettazzjoni tal-partiċelli ta' ≥99.9999999% (9-LRV) f'120 slpm.
Magħmulin minn trab robust tal-azzar inossidabbli 316L sinterizzat għall-element tal-filtru u l-housing, dawn il-filtri huma konformi mal-ispeċifikazzjonijiet SEMI F86-0304, b'komponenti b'żewġ portijiet imfassla għal sistemi ta' distribuzzjoni tal-gass ta' 1.125” b'konfigurazzjoni ta' siġill-C. Huma jappoġġjaw pressjoni massima tad-dħul ta' 3.4 MPa f'100°C u differenzjali massima tal-pressjoni operattiva ta' 0.69 MPa f'100°C.
Dawn il-filtri speċjalizzati, kompatibbli kemm mal-ispeċifikazzjonijiet tas-siġill tat-tip C kif ukoll tat-tip W, jiksbu ndafa 'l isfel bir-rilaxx ta' partiċelli ta'
B'finitura tal-wiċċ ta' Ra< 1.6 µm fuq barra u RaB'inqas minn 0.13 µm fuq ġewwa, huma ddisinjati biex jifilħu temperaturi għoljin sa 460°C. Iddisinjati għal integrazzjoni faċli u aġġornamenti tad-disinn modulari, dawn il-filtri jissimplifikaw l-installazzjoni u l-manutenzjoni, u jgħinu biex jottimizzaw il-prestazzjoni tas-sistema f'applikazzjonijiet ta' kunsinna u kontroll tal-gass semikonduttur.
Karatteristika tal-Prodott
▶ Kostruzzjoni ġenerali tal-istainless steel 316L
▶ Disinn minjaturizzat, struttura kompatta, iffrankar tal-ispazju
▶ Karatteristiċi eċċellenti ta' sostituzzjoni u desorbiment tal-gass
▶ Temperatura għolja, pressjoni għolja, u reżistenti għall-korrużjoni
▶ Kisi tal-istainless steel 316L elettro-lustrat
▶ Installazzjoni u manutenzjoni faċli u effiċjenti
▶ Siġillar mekkaniku, strutturalment mhux iwweldjat mal-mezz
Folja tad-dejta
| Parametri Tekniċi | Valuri |
|---|---|
| Materjal tal-Element tal-Filtru | Trab Sinterizzat tal-Azzar Inossidabbli 316L |
| Materjal tad-Djar | Azzar Inossidabbli 316L |
| Pressjoni Massima tad-Dħul | 3.4 MPa @ 100°C |
| Differenzjal Operattiv Massimu | 0.69 MPa @ 100°C |
| Rata ta' Tnixxija tal-Verifika tal-Elju | 1x10⁻¹¹ ċk/min |
| Rata ta' Tnixxija tat-Test tal-Elju | 1x10⁻⁹ ċk/min |
| Trattament tal-Wiċċ | Wiċċ ta' Barra Ra< 1.6 μm |
| Wiċċ Intern Ra< 0.13 μm | |
| Temperatura Massima tat-Tħaddim | 460°Ċ |
| Effiċjenza tal-Interċettazzjoni tal-Partiċelli | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referenza MPPS, il-partiċelli kollha) |
| Indafa 'l isfel mill-kurrent | Rilaxx ta' Partiċelli:< 0.03 partiċelli/litru (< 1 partiċella/ft³) |
| Volatili:<10 ppb umdità | |
| Daqs tal-Interċettazzjoni tal-Partiċelli | ≥0.003 μm |
| Firxa tal-Fluss | 0 ~ 120 slpm |
Daqs
Hawn in-numru tal-parti li tista' tordna u d-dettalji tad-daqs:
| Mudell tal-Prodott | Rata tal-Fluss | Għoli H (mm) | Preċiżjoni tal-Filtrazzjoni | Livell ta' Tindif |
|---|---|---|---|---|
| Ż01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Ż01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Ż01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Ż01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Applikazzjonijiet Tipiċi
Għall-użu ma' sistemi modulari ta' kunsinna tal-gass immuntati fuq il-wiċċ ta' W-seal u C-seal, 1.125” u 1.5”.
Ibgħatilna l-messaġġ tiegħek:
